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半導體名稱打字 — 8種曝光設備

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在微影設備簡圖中標示題目模組的位置
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晶圓載台

jingyuanzaitai

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8種曝光設備名稱清單

  1. 晶圓載台 (jingyuanzaitai)
  2. 光罩載台 (guangzhaozaitai)
  3. 晶圓搬運裝置 (jingyuanbanyunzhuangzhi)
  4. 光罩搬運裝置 (guangzhaobanyunzhuangzhi)
  5. 投影透鏡組 (touyingtoujingzu)
  6. 投影反射鏡組 (touyingfanshejingzu)
  7. 深紫外光源模組 (shenziwaiguangyuanmozu)
  8. 晶圓對準感測器 (jingyuanduizhunganceqi)
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這是8種曝光設備題組,共輸入8個名稱,從「晶圓載台」開始,以「晶圓對準感測器」結束。看圖閱讀名稱,以輸入法確認漢字,或直接打該題登錄拼音。答案符合便自動前進,不必另外按Enter。元件圖不表現實物封裝外形。設備圖與位置圖是通用教學模型,沒有重現商用設備的詳細設計或光學處方。圖中的區塊、連接及配置也不代表真實產品尺寸,不能據此設計、組裝或操作設備。

元件用電路符號表示,設備為通用功能教學模型,位置圖不重現商用設備設計或光學處方。

圖片來源與授權

電路符號:KiCad Library Contributors。本專案轉換為SVG,統一比例與線色,省略數值與參考編號,並加入端子標記及輔助功能圖。符號SVG整體採CC BY-SA 4.0,另行生成的設備與位置圖除外。