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반도체 이름 타이핑 — 노광 장비 8종
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최고 기록
웨이퍼 스테이지
Wafer stage
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노광 장비 8종 이름 목록
- 웨이퍼 스테이지 (Wafer stage)
- 레티클 스테이지 (Reticle stage)
- 웨이퍼 핸들러 (Wafer handler)
- 레티클 핸들러 (Reticle handler)
- 투영 렌즈 (Projection lens assembly)
- 투영 미러 (Projection mirror assembly)
- 광원 모듈 (DUV light-source module)
- 정렬 센서 (Wafer alignment sensor)
노광 장비 8문항을 일반 기능 교육 모형과 함께 입력합니다. 웨이퍼와 레티클, 투영 렌즈와 투영 미러의 이름을 각각 확인해 보세요. 위치도는 상용 장비의 세부 설계나 광학 처방을 재현하는 자료가 아닙니다.
소자는 회로 기호, 장비는 일반적인 기능 교육 모형입니다. 위치도는 상용 장비의 세부 설계나 광학 처방을 재현하지 않습니다.
그림 출처와 라이선스
회로 기호: KiCad Library Contributors. 이 프로젝트에서 SVG 변환, 배율·선색 통일, 기준값·참조번호 생략, 단자 표시와 보조 기능 도식을 추가했습니다. 기호 SVG 전체는 CC BY-SA 4.0입니다. 별도 생성한 장비 그림·위치도에는 이 라이선스를 적용하지 않습니다.