半導体の名前タイピング — 露光装置8種

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露光装置8種の名前一覧

1. ウエハーステージ (うえはーすてーじ)
2. レチクルステージ (れちくるすてーじ)
3. ウエハーハンドラー (うえはーはんどらー)
4. レチクルハンドラー (れちくるはんどらー)
5. 投影レンズユニット (とうえいれんずゆにっと)
6. 投影ミラーユニット (とうえいみらーゆにっと)
7. DUV光源モジュール (でぃーゆーぶいこうげんもじゅーる)
8. ウエハーアライメントセンサー (うえはーあらいめんとせんさー)

露光装置8種の8個の名前を入力します。最初は「ウエハーステージ」、最後は「ウエハーアライメントセンサー」です。漢字やカタカナの表示名を写すほか、登録済みのひらがなも使えます。名前が一致するとEnterなしで次へ進みます。素子の図は実物のパッケージ外観ではありません。装置の図と位置図は教育用の一般模型で、商用装置の詳細設計や光学処方を再現しません。寸法、接続、配置を実機の仕様として解釈せず、図の表現目的の違いと名前を一緒に見てください。